Taiaho ine matotoru
Nga tikanga ine
Kōwae inenga mātotoru: e rua ngā pūoko whakanekehanga taiaho honohono. Ka whakamahia aua pūoko e rua ki te ine i te tūnga o runga me raro o te mata o te mea ine, ka whiwhi i te matotoru o te mea ine ma te tatau.
L: Te tawhiti i waenga i nga pūoko nekehanga laser e rua
A: Te tawhiti mai i te pūoko o runga ki te mea ine
B: Te tawhiti mai i te pukoro o raro ki te mea ine
T: Te matotoru o te mea ine
Nga taputapu nui
Tawhā Hangarau
| Ingoa | Irirangi taiaho ine matotoru | I-ipurangi taiaho whanui mehua matotoru |
| Momo anga matawai | Momo-C | Momo-O |
| Te nui o nga pūoko | 1 huinga pūoko displacement | 2 huinga pūoko displacement |
| Taumira pūoko | 0.02μm | |
| Te auau tauira | 50k Hz | |
| Te waahi | 25μm*1400μm | |
| Hononga | 98% | |
| Te tere matawai | 0~18m/min, ka taea te whakarite | 0~18m/min, ka taea te whakarite (he rite ki te tere nekehanga o te pūoko kotahi, 0~36 m/min) |
| Te tika o te tukurua | ±3σ≤±0.3μm | |
| Putanga CDM | Rohe whanui 1 mm; tika tāruarua 3σ≤±0.5μm; putanga wa-tūturu o te tohu matotoru;te wa whakautu≤0.1ms | |
| Te mana katoa | <3kW | |
Tuhia to korero ki konei ka tukuna mai ki a matou


测量仪.png)



